Layertec 反射鏡，輸出耦合器和鏡片

圖1：隨機(jī)偏光（a）的反射鏡（AOI = 45°）在193 nm下的測量的反射率和透射光譜（a）和在兩面都涂有193 nm氟化物AR涂層的CaF2窗口（b）

Ø所有氟化物系統(tǒng)均確保高反射率和高損傷閾值

ØPR涂層的公差為：

ر 2% for R = 10 ... 30 %

ر 3% for R = 30 ... 75 %

ر 2% for R = 75 ... 90 % and

ر 1% for R > 90 %

ØCaF2（肖特公司193nm受激準(zhǔn)分子級(jí)）和熔融石英的高質(zhì)量鏡面基板，窗口片和透鏡

Ø根據(jù)客戶要求開發(fā)和生產(chǎn)特定組件，例如分束器和可變衰減器

Ø單波長增透膜，剩余反射率在AOI = 0°時(shí)R <0.25％，在AOI = 45°時(shí)R <0.6％（非偏振光）

Ø寬帶和多波長增透膜

可變衰減器

圖2：在不同的AOI（a）和透射率與AOI（b）下測得的可變衰減器的透射率光譜; 透射率從AOI = 0°時(shí)的T> 88％到AOI = 45°時(shí)的T <2％

Ø可根據(jù)要求提供不同傳輸范圍的衰減器

Ø衰減器可以與CaF2熔融石英的AR涂層補(bǔ)償板一起提供

鋁反射鏡

圖3：優(yōu)化了針對193nm的受保護(hù)Al鏡（a）和針對193nm的增強(qiáng)Al鏡（AOI = 45°（b））的測量反射光譜

增強(qiáng)鋁鏡：Rp
> 93%
Rs
> 99%
Rr
> 96%

有關(guān)鋁鏡的更多信息，請參見目錄中的96-97頁。

標(biāo)準(zhǔn)ArF激光元件的技術(shù)參數(shù)

1）1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大學(xué)進(jìn)行了測量

2）能量密度：18mJ / cm 2，重復(fù)頻率：4kHz，脈沖持續(xù)時(shí)間：30ns; 在哥德根的COHERENT AG進(jìn)行測試

3）能量密度：55mJ / cm 2，重復(fù)率：1kHZ，脈沖持續(xù)時(shí)間15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試

4）能量密度：27mJ / cm 2，重復(fù)頻率：4kHz，脈沖持續(xù)時(shí)間：30ns; 在哥德根的COHERENT AG進(jìn)行測試

5）能量密度：80mJ / cm 2，重復(fù)頻率：1kHz，脈沖持續(xù)時(shí)間：12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試

Layertec 反射鏡，輸出耦合器和鏡片

圖1：157nm的激光鏡（AOI = 0°，a）和轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°，b）的測量反射率和透射光譜

Ø激光鏡：AO = 0°時(shí)R = 92 ... 95％

Ø轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°）：

ØRs
> 97%

ØRp
> 90%

ØRr
> 92%

ØCaF2的高品質(zhì)鏡面基板，窗口片和鏡片（肖特公司157nm受激準(zhǔn)分子級(jí)品質(zhì)）

Ø具有公差的PR涂層

ر 2 % for R = 10 ... 30 %

ر 3 % for R = 30 ... 75 % and

ر 2 % for R = 75 ... 90 %

Ø根據(jù)客戶要求開發(fā)和生產(chǎn)特定組件，例如分束器和可變衰減器

圖2：標(biāo)準(zhǔn)輸出耦合器在R = 50±3％和R = 25±2％時(shí)測得的反射光譜（背面未鍍膜）

可變衰減器

圖3：可變衰減器在不同AOI（a）和透射率與AOI（b）下測得的透射光譜透射率從AOI = 0°時(shí)的T> 75％到AOI = 45°時(shí)的T <5％

F2激光鋁鏡

圖4：受保護(hù)的Al鏡（a）和增強(qiáng)型Al鏡在157nm下的反射光譜（b）

受保護(hù)的鋁鏡（針對157nm進(jìn)行了優(yōu)化）：R = 74 ... 78％

電介質(zhì)增強(qiáng)型鋁鏡：AOI = 0°時(shí)R = 94％

有關(guān)鋁鏡的更多信息，請參閱我們的目錄中的第96 - 97頁。

標(biāo)準(zhǔn)F2激光組件的技術(shù)數(shù)據(jù)

*能量密度：25mJ / cm2，重復(fù)頻率：800Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試

**能量密度：15mJ / cm 2，速率：200Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間：20ns; 在光電技術(shù)研究所（IPHT）耶拿研究所進(jìn)行測試

***能量密度：20 mJ / cm2，速率：50Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間：20ns; 在光電技術(shù)研究所（IPHT）耶拿研究所進(jìn)行測試

反光鏡和部分反射鏡

Ø對于s和p偏振光，在AOI = 0°和AOI = 45°時(shí)R> 99.9％的HR腔和轉(zhuǎn)向鏡

Ø典型反射率：R> 99.95％

Ø對于特殊要求，我們保證R> 99.99％（帶腔環(huán)下降測量的交貨）

Ø光譜帶寬約70 nm，1 - 1 LIDT> 50 MW / cm2（cw）和> 50J / cm2（10 ns）

圖1：高功率腔鏡（a）和具有不同反射率的輸出耦合器（b）的反射光譜

分光鏡和輸出耦合器，反射率經(jīng)過精確調(diào)節(jié)

Ø泵浦鏡HR（0°，1064 nm）> 99.9％+ R（0°，808 nm）<2％

Ø光束分離器，合束器和掃描鏡

Ø另外，此處也介紹了Nd：YAG / Nd：YVO4激光器諧波的光學(xué)器件（在我們的目錄第40-45頁中）

圖2：導(dǎo)光鏡HR（1064 nm）+ PR（630-670 nm）的反射光譜在AOI = 45°（a）時(shí)的s-，p-和隨機(jī)偏振，以及在不同AOI時(shí)的隨機(jī)偏振（用作 掃描鏡）（b）

Ø薄膜偏振片

Ø分離光的s和p偏振分量（反射s偏振光并透射p偏振光）

Ø可以在AOI> 40°的情況下生產(chǎn)TFP，但是如果使用AOI≈55°（布魯斯特角），偏振是*的，并且會(huì)出現(xiàn)在寬波長范圍內(nèi)

Ø典型偏振比：AOI = 45°或55°時(shí)，Tp / Ts> 500

Ø可以進(jìn)行極化比Tp / Ts高達(dá)10000的特殊設(shè)計(jì)

Ø較高的激光損傷閾值（適用于腔內(nèi)應(yīng)用）

Ø通過改進(jìn)的空腔環(huán)形設(shè)置，可以高精度測量用于p偏振光的薄膜偏振片的透射率

圖3：對于s和p偏振光，AOI = 55°（布魯斯特角）的標(biāo)準(zhǔn)TFP的反射光譜

非偏振分束器

Ø對于AOI = 45°和不同程度的反射率，Rs?Rp（| Rs – Rp | <1.5％）的分束器

Ø最常見的類型：

o Rs，p = 66±1％

o Rs，p = 50±2％

o Rs，p = 33±3％

Ø所有具有背面AR（Rs?Rp≤0.6％）的非偏振分束器

圖4：3種類型的非偏振分束器的反射光譜（AOI = 45°）